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マスクとインクジェット印刷を組み合せたグラフェンパターニング手法

National Chiao Tung Universityの研究グループがマスクとインクジェット印刷を組み合せたグラフェンパターニング手法を発表しました。 本研究成果は、IEEE Access (2020)に掲載されています。 この記事は下記論文の紹介記事です。 論文: Fu, Yu-Min, et al. "An Inkjet Printing Technique for Scalable Microfabrication of Graphene-Based Sensor Components." IEEE Access (2020).

https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/9078740

本研究では、マスキングとインクジェット印刷を組み合わせたプロセスを使用した、多用途で正確なグラフェンパターニング技術を紹介します。

グラフェンベースの構造は、最初に電気めっき銅または深堀反応性イオンエッチング(DRIE)シリコンを用いたマスクによって作製したマスキングモールドを使用して構造パターンと位置を定義し、次にグラフェンインクのインクジェット塗布とリフトオフを行うことで製造されます。 このハイブリッド技術は、自立型および片持ち梁、4点抵抗測定構造、および最小線幅が約20μmのピエゾ抵抗型検出素子を含む、高忠実度で高解像度のグラフェンベースの微細構造を実現できます。 さらに、この方法は、選択的細胞培養アプリケーション用のポリジメチルシロキサン(PDMS)やSiO 2 / Siなどの基板上での酸化グラフェン(GO)および還元酸化グラフェン(rGO)のマイクロパターニングを容易にします。 化学使用量が少なく、プロセス温度と複雑さが低く、インクジェット印刷の柔軟性とフォールトトレランスが高いという特性により、この手法は、さまざまな生物医学アプリケーションの魅力的な可能性を示しています。 #インクジェット #グラフェン #マスク

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