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SU-8をインクジェット印刷

Politecnico di Milanの研究グループが、レジストSU-8をインクジェット印刷しました。

この研究成果は、Polymerに掲載されています。


この記事は下記論文の紹介記事です。

論文:

Bernasconi, R., et al. "SU-8 inkjet patterning for microfabrication." Polymer (2019): 121933.

https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0032386119309395



レジストをインクジェット印刷することは、電子微細構造、MEMS、マイクロ流体デバイスまたはトランスデューサーを実現する魅力的なアプローチです。実際、インクジェット印刷は、機能性材料を高解像度で堆積できる最も有望な低コストの製造プロセスです。

このような背景から、同研究グループはレジストであるSU-8を用いてインクジェット印刷を行い、複雑なパターン構造を正常に印刷できることを確認しました。



同グループの研究の結果、2つの異なる希釈SU-8混合物が正常に印刷され、溶媒の物理的パラメーターの影響に関する詳細な分析を行いました。

本論文において、SU-8インクジェットパターニングの主な課題は、重要な印刷の側面を示すさまざまな形状の評価を通じて個別化され、議論されています。加えて、そのような課題に対処するためのいくつかの可能なアプローチが提示されています。

今回実現したインクジェット印刷によるSU-8のマスクは、金属電鋳におけるマスクとして使用可能であることを確認されています。



#レジスト #ピエゾ


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