Ghulam Ishaq Khan Institute of Engineering Sciences and Technologなどの研究グループが、電気流体力学ジェット印刷を用いて湿度センサーを作製しました。
この研究成果は、Sensors and Actuators B: Chemical (2020): 127680に掲載されています。
この記事は下記論文の紹介記事です。
論文：
Yousaf, HM Zeeshan, et al. "Highly sensitive wide range linear integrated temperature compensated humidity sensors fabricated using Electrohydrodynamic printing and electrospray deposition." Sensors and Actuators B: Chemical (2020): 127680.
相対湿度の値は環境温度に依存しますが、湿度センサーに関するほとんどの研究ではその事実は無視されてきました。
また、センサーの大きさは、市販のマイクロチップに統合できるように十分に小さくする必要があります。
同研究グループは、湿度センサーの出力抵抗に対して周囲の温度の影響を補正し、温度および湿度センサーシステムを作製しました。
電気流体力学的ドロップオンデマンド（EHD-DOD）印刷を使用して電極を作製し、湿度センサーの活性層製造にエレクトロスプレー堆積（ESD）を使用しています。
作製した電極の線幅は10μmで、両方のセンサーの合計面積は2mm2でした。
抵抗型温度センサーとして蛇行タイプの銀パターンが使用され、湿度センサーには櫛型電極（IDT）電極が使用されました。
湿度センサーのアクティブ層は、ポリエチレンオキシド（PEO）と2D二硫化モリブデン（MoS2）フレークの新規複合材料を使用して製造され、高感度（85kΩ/％RH）と広い検出範囲（0-80％RH）を示しています。
温度の影響を補正するために、両方のセンサーの出力に関連する数学的モデルを開発しました。
このシステムは、あらゆる印刷技術で製造された、温度補償済みの統合型温度および湿度センサーの商業化に最適なソリューションを提供します。