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薄膜作製方法
インクジェット法は、微小液滴を指定位置に滴下していく技術です。
滴下した液同士が接するように配置することで、薄膜面を作製できます。
各箇所に滴下される液滴量のバラツキが小さく、かつ滴下範囲は任意に大きくできるため、厚みの一様性が高くかつ大型な薄膜面の作製が可能です。
作製される薄膜面の厚みは、滴下する液滴サイズ、着滴間隔に依存します。
マルチノズルヘッドによる薄膜作製過程
ノズル数が多いマルチノズルヘッドを用いることで、非常に大きなエリアの薄膜作製が短時間で可能になります。
マルチノズルヘッドを複数個連結させることで、数平方メーターの領域を数秒で塗布する事も可能です。
各ドットピッチにおける面形成過程
液滴の滴下間隔（ドットピッチ）に応じて作製される薄膜面状態は異なります。
薄膜面作製に適したドットピッチは、基板と液との濡れ性や着滴量に応じて異なります。
設定したドットピッチに応じて、ピンホールや厚みムラの発生頻度が異なります。
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