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薄膜作製過程

インクジェット法は、厚み1μm~数10μmの薄膜の作製に適しています。

ここでは、インクジェット法による薄膜作製過程を紹介します。

​薄膜作製方法

インクジェット法は、微小液滴を指定位置に滴下していく技術です。

滴下した液同士が接するように配置することで、薄膜面を作製できます。

各箇所に滴下される液滴量のバラツキが小さく、かつ滴下範囲は任意に大きくできるため、厚みの一様性が高くかつ大型な薄膜面の作製が可能です。

作製される薄膜面の厚みは、滴下する液滴サイズ、着滴間隔に依存します。

マルチノズルヘッドによる薄膜作製過程

ノズル数が多いマルチノズルヘッドを用いることで、非常に大きなエリアの薄膜作製が短時間で可能になります。

​マルチノズルヘッドを複数個連結させることで、数平方メーターの領域を数秒で塗布する事も可能です。

各ドットピッチにおける面形成過程

液滴の滴下間隔(ドットピッチ)に応じて作製される薄膜面状態は異なります。

薄膜面作製に適したドットピッチは、基板と液との濡れ性や着滴量に応じて異なります。

​設定したドットピッチに応じて、ピンホールや厚みムラの発生頻度が異なります。

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