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インクジェット法によって生成した液滴の着滴過程

インクジェット法によって生成された数10μmの微小液滴は空間を飛翔し、対象物に着滴します。

ここでは、インクジェット法によって生成された液滴の着滴過程に関する特徴を紹介します。

インクジェット液滴の着滴過程

インクジェット法で生成される微小液滴は空中を飛翔し対象物に着滴します。

約5~10m/sで基板に衝突した液滴は、その場で振動しますが跳ね返りや飛び散りは起こりません。

跳ね返りや飛び散りといった現象は、付着した基板との接触面を引きはがしたり、液体から微小液滴を分離することで表面を作製したりする表面エネルギーを増加させる現象です。インクジェットで取り扱う液滴サイズは数10μmと非常に小さいため、相対的に運動エネルギーよりも表面エネルギーの影響が液滴挙動において支配的となります。

このため、インクジェットの液滴は5~10m/sで着滴しても跳ね返りや飛び散りといった現象はおこりません。

 

​写真 着滴過程/撥液ガラス/水(5μs毎の着滴過程連結画像)

インクジェット液滴の着滴過程:複数滴

インクジェットの液滴が跳ね返りや飛び散りを起こさないという特徴は、液に対しても有効です。

液に滴下動作を行うと、液面に振動が発生しますが、飛び散りは起こりません。

​この特徴を活かすことで、同じ場所に複数滴滴下することで、吐出量の整数倍の滴下量を指定箇所に注入することができます。