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各液滴サイズにおける乾燥過程
インクジェット法によって生成された液滴は微小です。
そのため、基板に着滴した後に短時間で乾燥します。
乾燥にかかる時間は数10msec~数10secです。
インクジェットノズルから吐出した液滴は、空気中を約0.05-0.30msecの時間飛翔し、対象物に着滴します。飛翔中も僅かに乾燥が進みますが、ほとんどの乾燥は着滴後に進みます。
濡れ性の異なる基板における乾燥過程
基板と液との濡れ性によって、着滴形状が異なります。
着滴形状に応じて、液の表面積が変わります。
表面積が広いほど、乾燥がより早く進みます。
そのため、基板との濡れ性に応じて、着滴後の乾燥時間も異なります。
揮発性の異なる液の乾燥過程
インクジェット法による液滴が微小であり乾燥が速いため、揮発性の低い高沸点溶媒も基板着滴後に短時間で乾燥します。
液の揮発性に応じて、乾燥時間は大きく異なります。
乾燥過程での対流とコーヒーステイン現象
基板に着滴した液滴の乾燥過程において、局所的な乾燥速度(蒸発量)の差が発生します。その差に起因した対流が発生します。
この対流によって、液滴外周部に溶質が集まるコーヒーステイン現象が発生します。
このコーヒーステイン現象の程度は、基板との濡れ性、溶媒種類、基板温度、環境温度、環境湿度といった条件によって制御が可能です。
様々な液の乾燥過程
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