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基板に着滴した微小液滴の濡れ広がり過程

インクジェット法によって生成された数10μmの微小液滴は空間を飛翔し、対象物に着滴します。

その後、基板に対する濡れ性にしたがって、着滴した液が短時間で形状変化します。

ここでは、インクジェット法によって生成された液滴の着滴後濡れ広がり過程に関する特徴を紹介します。

インクジェット液滴の着滴後濡れ広がり過程

インクジェット法で生成される微小液滴は空中を飛翔し対象物に着滴します。

着滴した液滴は、基板との濡れ性にしたがって濡れ広がります。

濡れ広がりにかかる時間は数10μs~数ms程度で最終的な接触角に依存します。

液滴サイズが小さく、液の粘度も低いため、非常に短時間で濡れ広がり工程が完了します。

 

図 接触角の経過時間変化(液:水、滴下量:26pl)

基板表面状態によって異なる着滴後の濡れ広がり過程

基板の表面状態に応じて濡れ広がり過程は異なります。

​同じ液が同じ液滴量で着滴しても基板の表面状態に応じて着滴後の濡れ広がり状態は異なります。

基板表面形状によって異なる着滴後の濡れ広がり過程

基板形状によって着滴後の挙動は異なります。

​特に、毛細管力が働く場合、着滴した液は毛細管力にしたがって瞬時に形状変化します。

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